超低温磁场探针台

半自动真空低温探针台使晶圆和器件在低温下9k(singleCCR系统)、 4 5K(dualCCR系统)甚至低于4K(triple CCR系统)的情况下能够快速、经济地进行测试。低温探针台，设计用于支持在真空或气体环境中对高达100mm、150mm或高达300mm的晶圆进行自动动或半自动测试。系统精度高、成本低、噪音低、使用方便。系统建立在一个振动补偿的多功能平台上，能够配置来各种测试应用程序。