台阶仪

Kosaka 6寸台阶仪 ET150

Kosaka 6寸台阶仪 ET150

• 设备主体花岗岩,低热膨胀,低重心,自隔震; • 独家专利的直动式传感器设计; • Z方向分辨率0 1m;重复性1σ 0 2nm以内,但实际可达0 1nm; • Z方向线性度为±0 25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A); • 样品台的垂直直线度保证:局部0 005um 5mm、全量程0 2um 100mm; • 高精度的X方向位移光栅尺控制,X方向最大测量长度100mm,Y方向最大移动150mm; • 选配三维测量功能。

极佳重复性与线性度

• 采用直动式检测方式;

• 可避免圆弧补正误差;

• 可避免Bearing间隙误差;

• 台阶测定重复性:1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm;

• Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)。

高分辨率

• 纵轴最高分辨率0.1nm;

• 横轴最高分辨率0.1um;

• X测定速度可调:5μm~2mm/s;

低测定力

• 测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定;

• 可测定软质材料面,如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等。

 

 

真直度保证-1

线性尺与时间取样

形状及粗度解析果

粗度规范对应:可对应各种国际新旧标准规范,测量参数多达60种;

成交客户(包括但不限于)

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贤俊机械

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